更新日期：2025年06月24日

第4讲　关于电子光束及离子

使用电子光束及离子的装置

装置代表例
・电子光束描画装置
・电子光束曝光装置
・扫描电子显微镜
・离子注入装置
具体列举以上装置示例。

此类装置大多使用磁性较低的部件，以免对电子光束和离子产生影响。
此外，为了避免与空气中的分子碰撞，在真空环境下使用电子光束，因此大部分装置均配备了真空室。

请由此参看真空环境内容。

NBK提供无磁性产品。

请由此查看全部产品系列
 
材质 钽 C5191（磷青铜） 64钛合金 純钛合金 钛合金 SUS316L
产品名称 内六角螺栓
（钽）		 磷青铜内六角圆柱头螺栓 高强度钛合金内六角圆柱头螺栓 内六角极短头小头螺栓（纯钛制） 高强度钛合金十字槽埋头小螺钉 内六角极短头螺栓（不锈钢制）
代表型号 SNSTA SNSP SNSTG SSHT-SD SNFTG SSHL
  产品系列
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也有避免磁化部分的工具。
 
材质 64钛合金 CFRTP（碳纤维增强热可塑性树脂）
产品名称 钛合金六角扳手 CFRTP活动扳手
代表型号 SKHTG SKMWCP-200
  产品系列请看这里

 

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产品介绍 无尘、真空、无磁性 半导体生产设备 半导体行业与NBK 特殊螺丝